Полупроводниковые фильтры

Полупроводниковые газовые фильтры:

Обеспечение безупречной чистоты газа при производстве чипов

В сложном мире производства полупроводников, где точность и чистота имеют первостепенное значение, качество

Используемые газы играют решающую роль в определении успеха процесса. Примеси, даже на бесконечно малых уровнях,

может нанести ущерб хрупким схемам микрочипов, делая их дефектными и непригодными для использования. Чтобы защитить

В этом критическом процессе полупроводниковые газовые фильтры являются непреклонными стражами, тщательно удаляя загрязнения.

и обеспечение безупречного качества газов, проходящих через производственные линии.

Фильтры из спеченного металла обладают множеством замечательных особенностей и преимуществ.

1. Создано в современной чистой комнате.

Эти фильтры созданы в современных чистых помещениях, в среде, где тщательно поддерживаются безупречные условия, чтобы свести к минимуму любое потенциальное загрязнение. Они проходят строгий производственный процесс, начиная с точной сварки в атмосфере очищенного воздуха. Последующая промывка деионизированной водой, за которой следует продувка фильтрованным азотом под высоким давлением, удаляет любые оставшиеся частицы и снижает риск их выпадения.

2. Исключительная эффективность удаления частиц.

Обладая замечательной эффективностью фильтрации 9 LRV для частиц размером 0,003 мкм и соответствующими строгим стандартам, установленным методами испытаний SEMI F38 и ISO 12500, эти фильтры эффективно удаляют любые частицы, образующиеся в результате коррозии, а также частицы, образующиеся на движущихся частях, обеспечивая первозданную чистоту газы.

3. Превосходная механическая прочность

Эти фильтры, прошедшие строгие испытания, гарантирующие исключительную устойчивость в сложных производственных процессах и средах, в которых часто используется высокое давление газа, обеспечивают неизменную производительность на протяжении всего срока службы.

4. Превышение самых высоких отраслевых стандартов

Эти фильтры, превосходящие строгие требования к фильтрации газов при обработке полупроводников, проходят строгие испытания, чтобы гарантировать, что они соответствуют критической эффективности фильтрации, точному контролю потока и стандартам безопасности, требуемым системами подачи газа в производстве полупроводников.

5. Непоколебимая приверженность безопасности

Чтобы защититься от воздействия легковоспламеняющихся, коррозийных, токсичных и пирофорных технологических газов, корпуса фильтров проходят тщательные испытания на герметичность, гарантируя, что они достигают впечатляющей скорости утечки менее 1x10-9 атм/сек. Эта непоколебимая приверженность безопасности гарантирует сдерживание опасных газов и предотвращение причинения вреда.

6. Бескомпромиссная чистота для совершенства в производстве микросхем

Благодаря своим исключительным возможностям фильтрации, неизменной приверженности безопасности и соблюдению самых высоких отраслевых стандартов эти газовые фильтры играют ключевую роль в обеспечении безопасности сложного процесса производства полупроводников. Они стоят на страже чистоты, гарантируя, что через производственные линии проходят только самые чистые газы, прокладывая путь к созданию высокопроизводительных микрочипов, которые питают наш современный мир.

Типы полупроводниковых фильтров

Полупроводниковые фильтры используются в различных приложениях, в том числе:

* Производство электроники:

Полупроводниковые фильтры используются для удаления частиц из сверхчистой воды, газов и химикатов, используемых при производстве полупроводников.

* Химико-механическая планаризация (ХМП):

Полупроводниковые фильтры используются для удаления частиц из суспензий CMP, которые используются для полировки полупроводниковых пластин.

* Биомедицинские:

Полупроводниковые фильтры используются для удаления частиц из жидкостей, используемых в медицинской диагностике и лечении.

* Относящийся к окружающей среде:

Полупроводниковые фильтры используются для удаления частиц из воздуха и воды.

Существует четыре основных типа полупроводниковых фильтров:

1. Мембранные фильтры:

Мембранные фильтры состоят из тонкой пористой пленки, которая пропускает жидкости и задерживает частицы.

 

Мембранные фильтры для полупроводников

 

 

2. Фильтры глубины:

Глубинные фильтры состоят из толстого извилистого слоя материала, который улавливает частицы, проходящие через фильтр.

 

Глубинные фильтры для полупроводников

 

 

3. Фильтры-адсорбенты:

Адсорбентные фильтры изготовлены из материала, который притягивает и удерживает частицы.

 

 Адсорбентные фильтры для полупроводников

 

 

4. Фильтры из спеченного металла.

Фильтры из спеченного металла — это тип глубинного фильтра, который обычно используется в производстве полупроводников. Они изготавливаются путем спекания мелкого металлического порошка в пористую структуру. Фильтры из спеченного металла известны своей долговечностью, высокой эффективностью фильтрации и способностью выдерживать высокие температуры и давления.

Преимущества спеченных металлических фильтров для производства полупроводников:

* Высокая долговечность:

Фильтры из спеченного металла очень долговечны и могут выдерживать суровые условия эксплуатации, включая высокие температуры, давление и агрессивные химикаты.

 

* Высокая эффективность фильтрации:

Фильтры из спеченного металла могут удалять частицы размером до 0,01 микрона, что важно для защиты деликатных полупроводниковых компонентов от загрязнения.

* Длительный срок службы:

Фильтры из спеченного металла имеют длительный срок службы, их можно легко очистить и использовать повторно.

* Химическая совместимость:

Фильтры из спеченного металла совместимы с широким спектром химикатов, что делает их пригодными для использования в различных процессах производства полупроводников.

Применение спеченных металлических фильтров в производстве полупроводников:

* Очистка газа:

Фильтры из спеченного металла используются для очистки газов, используемых в производстве полупроводников, таких как азот, водород и кислород.

* Химическая фильтрация:

Фильтры из спеченного металла используются для фильтрации химикатов, используемых в производстве полупроводников, таких как кислоты, основания и растворители.

* Фильтрация сверхчистой воды:

Фильтры из спеченного металла используются для фильтрации сверхчистой воды, используемой в производстве полупроводников.

* Фильтрация шлама CMP:

Фильтры из спеченного металла используются для фильтрации суспензий CMP, которые используются для полировки полупроводниковых пластин.

Фильтры из спеченного металла являются важной частью процесса производства полупроводников, помогая обеспечить производство высококачественных полупроводниковых приборов.

 

Тип полупроводникового фильтра, используемого в конкретном случае, зависит от размера удаляемых частиц, типа фильтруемой жидкости и желаемого уровня фильтрации.

Вот таблица, в которой суммированы различные типы полупроводниковых фильтров:

Тип фильтра	Описание	Приложения	Изображение
Мембранные фильтры	Изготовлен из тонкой пористой пленки, которая пропускает жидкости и задерживает частицы.	Производство электроники, CMP, биомедицина, экология	Мембранные фильтры для полупроводников
Глубинные фильтры	Изготовлен из толстого извилистого слоя материала, который улавливает частицы, проходящие через фильтр.	CMP, биомедицинский, экологический	Глубинные фильтры для полупроводников
Адсорбентные фильтры	Изготовлен из материала, который притягивает и удерживает частицы.	Производство электроники, CMP, биомедицина, экология	Адсорбентные фильтры для полупроводников
Металлокерамические фильтры	Изготовлен путем спекания мелкого металлического порошка в пористую структуру.	Очистка газа, химическая фильтрация, фильтрация сверхчистой воды, шламовая фильтрация CMP	Откроется в новом окнеwww.hengko.com Металлокерамические фильтры для полупроводников

Приложение

Газовые фильтры из спеченного металла и полупроводника широко используются в различных областях полупроводниковой промышленности. Их уникальные свойства, такие как высокая эффективность фильтрации, долговечность и способность выдерживать высокие температуры и давления, делают их важным компонентом систем подачи газа в производстве полупроводников.

Вот некоторые из конкретных применений газовых фильтров из спеченного металла и полупроводника:

1. Производство вафель:

Фильтры из спеченного металла используются для очистки газов, используемых при производстве пластин, таких как азот, водород и кислород. Эти газы необходимы для таких процессов, как эпитаксиальный рост, травление и легирование.

2. Химическая фильтрация:

Фильтры из спеченного металла используются для фильтрации химикатов, используемых в производстве полупроводников, таких как кислоты, основания и растворители. Эти химикаты используются для различных целей, включая очистку, травление и полировку.

3. Фильтрация сверхчистой воды:

Фильтры из спеченного металла используются для фильтрации сверхчистой воды (UPW), используемой в производстве полупроводников. UPW необходим для очистки и ополаскивания пластин, а также для приготовления химикатов.

4. Фильтрация шлама CMP:

Фильтры из спеченного металла используются для фильтрации суспензий CMP, которые используются для полировки полупроводниковых пластин. CMP — важнейший процесс при производстве микрочипов.

5. Фильтрация в точке использования (POU):

Фильтры из спеченного металла часто используются в качестве фильтров POU, которые устанавливаются непосредственно в месте использования, чтобы обеспечить высочайший уровень фильтрации. Фильтры POU особенно важны для применений, где чистота газа имеет решающее значение, например, при производстве микропроцессоров и других высокопроизводительных устройств.

6. Обработка газа высокой чистоты:

Фильтры из спеченного металла используются в системах обработки газов высокой чистоты для удаления загрязнений из газов, используемых в производстве полупроводников. Эти загрязнители могут включать частицы, влагу и органические соединения.

7. Производство микроэлектроники:

Фильтры из спеченного металла используются в производстве микроэлектроники, такой как компьютеры, планшеты, сотовые телефоны, датчики Интернета вещей и устройства управления.

8. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) фильтрации:

Фильтры из спеченного металла используются в MEMS-фильтрации, то есть процессе удаления загрязнений из микроэлектромеханических систем. МЭМС используются в различных приложениях, включая датчики, исполнительные механизмы и преобразователи.

9. Фильтрация устройств хранения данных:

Фильтры из спеченного металла используются при фильтрации устройств хранения данных, то есть процессе удаления загрязнений с устройств хранения данных, таких как жесткие диски и твердотельные накопители.

Помимо этих конкретных применений, газовые фильтры из спеченных металлов и полупроводников также используются во множестве других применений в полупроводниковой промышленности. Их универсальность и надежность делают их незаменимым инструментом для производителей полупроводников.

Ищете высококачественные газовые фильтры из спеченного металла и полупроводника?

HENGKO — ваш надежный партнер по OEM-решениям в системах производства полупроводников.

Наши прецизионные фильтры обеспечивают надежность и эффективность ваших процессов, предлагая вам преимущество на конкурентном рынке.

Почему стоит выбрать фильтры HENGKO?

* Превосходное качество и долговечность
* Индивидуальные решения, отвечающие вашим конкретным потребностям.
* Повышенная производительность при производстве полупроводников.

Не позволяйте проблемам с фильтрацией сдерживать ваше производство.

Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать, как наши фильтры из спеченного металла могут революционизировать вашу производственную систему.

Свяжитесь с нами по адресуka@hengko.com

Станьте партнером HENGKO и сделайте шаг к совершенству в производстве полупроводников!