HENGKO Камеры диффузоров из пористого металла высокой чистоты для фильтрации газов высокой чистоты в полупроводниках

Диффузоры из пористого металла HENGKO быстро выпускают воздух из вакуумных камер в атмосферу, что сокращает время цикла и увеличивает производительность.Наши диффузоры из нержавеющей стали обеспечивают равномерные и ламинарные потоки газа, не мешая частицам в камере.Эти пористые металлические диффузоры также удаляют из поступающего газа частицы размером более 0,1 мкм, сводя к минимуму дефекты на пластине.
Диффузоры из нержавеющей стали выдерживают более высокое рабочее давление и сохраняют целостность продукта – это самый длительный срок службы в отрасли.А для обеспечения коррозионной стойкости, превосходящей никель, используйте диффузоры высокой чистоты HENGKO.

Приложения
Пористые металлические диффузоры HENGKO используются в вентиляционных устройствах в камерах загрузочных шлюзов, камерах передачи, охлаждающих камерах и технологических камерах интерфейсов полупроводникового оборудования (CVD, PVD, травление, эпиляция) или других вакуумных камерах.

Не можете найти продукт, соответствующий вашим потребностям?Свяжитесь с нашими специалистами по продажам дляУслуги по настройке OEM/ODM!