Датчик температуры и влажности для полупроводниковой схемы контроля температуры и влажности в чистых помещениях
Выставка продукта
Температураа такжевлажность чистого помещения в основном определяется технологическими требованиями, но при условии выполнения технологических требований следует учитывать ощущение комфорта.С повышением требований к чистоте воздуха наблюдается тенденция к ужесточению требований к температуре и влажности.
По мере того, как точность обработки становится все более и более высокой, диапазон колебаний температуры становится все меньше и меньше.Например, в процессе литографического экспонирования крупномасштабного производства интегральных схем разница коэффициентов теплового расширения между стеклом и кремниевой пластиной в качестве материала маски должна быть все меньше и меньше.Диаметр кремниевой пластины 100 мкм, повышение температуры на 1 градус, приведет к линейному расширению 0,24 мкм, поэтому температура должна быть ± 0,1 градуса, в то же время значение влажности обычно низкое, потому что люди потеют, продукт будет иметь загрязнение, особенно боится мастерской полупроводника натрия, эта мастерская не должна превышать 25 градусов.
Повышенная влажность вызывает больше проблем.Когда относительная влажность превышает 55%, на стенке трубы охлаждающей воды будет образовываться роса, что может привести к различным авариям, если это произойдет в прецизионных устройствах или цепях.При относительной влажности 50% легко ржавеет.Кроме того, при слишком высокой влажности пыль, прилипшая к поверхности кремниевого чипа, будет химически адсорбироваться на поверхности и не будет удаляться.Чем выше относительная влажность, тем труднее удалить прилипание, но когда относительная влажность ниже 30%, частицы легко адсорбируются на поверхности из-за действия электростатической силы, и большое количество полупроводниковых устройств не работает. склонны к поломке.Оптимальный диапазон температур для производства вафель составляет 35-45%.
Поэтому контроль температуры и влажности особенно важен, HENGKO может предоставить вам рядПреобразователь температуры и влажности индивидуальные технологические решения!
Датчик температуры и влажности для полупроводниковой схемы контроля температуры и влажности в чистых помещениях
Не можете найти продукт, отвечающий вашим потребностям?Свяжитесь с нашим отделом продаж дляУслуги по настройке OEM/ODM! 
