Фильтрация высокой чистоты для сверхчистого производства полупроводников.
Описание
Высокопроизводительный газовый фильтр – специально разработан для фильтрации технологических газов сверхвысокой чистоты в полупроводниковом производстве. Изготовленный с высокой точностью из нержавеющей стали 316L, он имеет многоколонную или многослойную конструкцию из дисковых фильтрующих элементов, обеспечивающую низкое сопротивление при высоких скоростях потока, с точностью фильтрации до 0,003 мкм, что соответствует требованиям сверхвысокой чистоты. Цельнометаллическая конструкция делает его идеальным решением для фильтрации в динамических средах с высокими температурами.
Характеристики продукта
▶Конструкция полностью выполнена из нержавеющей стали 316L.— Обеспечивает долговечность и устойчивость к коррозии.
▶Высокая скорость потока, низкое сопротивление— Оптимизировано для высокого расхода с минимальными потерями давления.
▶Сверхвысокая эффективность удержания частиц— Отлично подходит для поддержания сверхчистых условий.
▶Устойчив к высоким температурам, давлению и коррозии.— Подходит для эксплуатации в суровых условиях.
▶Совместим с различными технологическими газами.— Универсальное применение в различных отраслях промышленности.
▶Идеально подходит для производства, тестирования и упаковки в чистых помещениях.— Идеально подходит для использования в контролируемых условиях.
▶100% проверка целостности— Каждый фильтр проходит всестороннюю проверку на целостность для обеспечения качества.
▶100% проверка на герметичность с использованием гелия— Проверено методом проверки герметичности с помощью гелия для обеспечения надежности в критически важных областях применения.
Техническая спецификация
Технические параметры
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Материал фильтрующего элемента | Спеченная порошковая нержавеющая сталь 316L |
| Материалы для корпуса | нержавеющая сталь 316L |
| Максимальное давление на входе | 207 бар |
| Максимальное рабочее перепадное давление | 5,2 бар |
| Коэффициент утечки при проверке гелия | 2 x 10⁻¹⁰ см³/мин |
| Скорость утечки при гелиевых испытаниях | 1 x 10⁻¹⁰ см³/мин |
| Обработка поверхности | |
| Внешняя поверхность | Ra < 1,6 мкм |
| Внутренняя поверхность | Ra < 0,2 мкм |
| Максимальная рабочая температура | |
| Инертный газ | 400-500℃ |
| Коррозионный и реактивный газ | 50℃ |
| Эффективность удержания частиц | ≥99,9999999% (9LRV) при 30 ст/мин |
| Чистота ниже по течению | ≤0,03 частиц/литр при > 0,01 мкм, 30 л/мин |
| Размер удерживаемых частиц | ≥0,003 мкм |
Размер
Вот артикул, который вы можете заказать, и подробные сведения о размерах:
| Модель продукта | Материал фильтрующего элемента | Точность фильтрации (мкм) | Тип подключения |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | Нержавеющая сталь 316L | 10~0.003 | 1/4 дюйма |
| Z01B-00648 | Нержавеющая сталь 316L | 10~0.003 | 1/2 дюйма |
| Z01B-00649 | Нержавеющая сталь 316L | 10~0.003 | 1/8 дюйма |
| Z01B-00650 | Нержавеющая сталь 316L | 10~0.003 | 1” |
| Настраиваемый | Нержавеющая сталь 316L | 10~0.003 | По мере необходимости |
Типичные области применения
некоторые типичные области примененияФильтры высокой чистоты для массового и бытового использованияиФильтры для очистки газовых потоков на газовой площадке:
1. Производство полупроводников
*Обеспечивает подачу сверхчистого газа для процессов изготовления пластин, травления и химического осаждения из газовой фазы (CVD).
*Обеспечивает высокую чистоту в системах распределения газов большого объема для азота, аргона и других газов-носителей.
2. Фармацевтическое производство
*Обеспечивает подачу стерильного газа без частиц для критически важных производственных сред.
*Поддерживает высокоэффективную фильтрацию в чистых помещениях и контролируемых средах для сохранения целостности продукта.
3. Лабораторные газовые системы
*Используется в лабораторных условиях для очистки газовых потоков в аналитическом оборудовании, таком как газовая хроматография и масс-спектрометрия.
*Обеспечивает высокую чистоту газов для исследовательских и испытательных работ, защищая чувствительные приборы.
4. Переработка продуктов питания и напитков
*Фильтрует CO₂ и другие газы, используемые при карбонизации, упаковке и хранении, обеспечивая безопасность и качество пищевых продуктов.
*Обеспечивает подачу газа без примесей на перерабатывающие предприятия, особенно для оптовых газораспределительных компаний.
5. Нефтегазовая промышленность
*Очищает потоки природного газа в процессе фильтрации на газовых площадках, удаляя загрязнения перед хранением или транспортировкой.
*Защищает оборудование, расположенное ниже по потоку, удаляя твердые частицы, влагу и примеси из систем подачи газа под высоким давлением.
6. Химическое производство
*Фильтрует вспомогательные газы, такие как азот и аргон, используемые в химическом синтезе и реакциях.
*Поддерживает чистоту газа для предотвращения загрязнения и нарушений в ходе реакции.
7. Аэрокосмическая и оборонная промышленность
*Обеспечивает подачу газов высокой чистоты в производственные и испытательные среды для аэрокосмических материалов и компонентов.
*Обеспечивает стабильную чистоту газа в контролируемых условиях при сборке авиационной и оборонной техники.
8. Производство энергии (электростанции)
*Фильтрует газы высокого давления для охлаждения и технологических процессов, особенно в условиях высоких температур.
*Повышает эффективность и снижает износ оборудования, предотвращая загрязнение систем охлаждения и циркуляции газа.
Эти фФильтры необходимы в любом применении, требующем чистого и стабильного потока газа, повышая защиту оборудования.
Повышение эффективности производственных процессов и качества конечной продукции в различных отраслях.
Отправьте нам ваше сообщение:
