Высокоэффективные IGS-фильтры поверхностного монтажа типа C для систем подачи газа в полупроводниковых системах.
Описание
Фильтры для поверхностного монтажа HENGKO разработаны для удовлетворения высоких требований интегрированных газовых систем, используемых в полупроводниковых OEM-оборудовании. Обеспечивая лучшую в отрасли фильтрацию с размером пор 0,003 мкм, эти фильтры гарантируют исключительную производительность и надежность с эффективностью перехвата частиц ≥99,9999999% (9-LRV) при 120 ст. л/мин.
Эти фильтры, изготовленные из прочной нержавеющей стали 316L, спеченной порошковой краской для фильтрующего элемента и корпуса, соответствуют спецификациям SEMI F86-0304 и имеют двухпортовые компоненты, разработанные для газораспределительных систем диаметром 1,125 дюйма с С-образным уплотнением. Они выдерживают максимальное входное давление 3,4 МПа при 100°C и максимальный рабочий перепад давления 0,69 МПа при 100°C.
Эти специализированные фильтры, совместимые как с уплотнениями типа C, так и с уплотнениями типа W, обеспечивают чистоту на выходе с удалением частиц.
С чистотой поверхности Ra< 1,6 мкм на внешней поверхности и RaФильтры имеют внутренний размер частиц < 0,13 мкм и рассчитаны на работу при высоких температурах до 460 °C. Разработанные для простой интеграции и модульной модернизации, эти фильтры упрощают установку и техническое обслуживание, помогая оптимизировать производительность системы в системах подачи и управления газами в полупроводниковой промышленности.
Характеристики продукта
▶ Конструкция выполнена из нержавеющей стали 316L.
▶ Миниатюрный дизайн, компактная конструкция, экономия места
▶ Превосходные характеристики замещения газа и десорбции
▶ Устойчивость к высоким температурам, высокому давлению и коррозии
▶ Корпус из электрополированной нержавеющей стали 316L
▶ Простая и эффективная установка и техническое обслуживание
▶ Механическое уплотнение, не свариваемое со средой.
Техническая спецификация
| Технические параметры | Ценности |
|---|---|
| Материал фильтрующего элемента | Спеченный порошок нержавеющей стали 316L |
| Материалы для корпуса | Нержавеющая сталь 316L |
| Максимальное входное давление | 3,4 МПа при 100°C |
| Максимальная рабочая разница | 0,69 МПа при 100°C |
| Коэффициент утечки при проверке гелия | 1x10⁻¹¹ см³/мин |
| Скорость утечки при гелиевом тесте | 1x10⁻⁹ см³/мин |
| Обработка поверхности | Внешняя поверхность Ra< 1,6 мкм |
| Внутренняя поверхность Ra< 0,13 мкм | |
| Максимальная рабочая температура | 460°C |
| Эффективность перехвата частиц | ≥99,9999999% (9-LRV) при 120 ст. л/мин (эталонный MPPS, все частицы) |
| Чистота ниже по течению | Выброс частиц:< 0,03 частиц/литр (< 1 частица/фут³) |
| Летучие вещества:< 10 ppb влажности | |
| Размер перехвата частиц | ≥0,003 мкм |
| Диапазон расхода | 0 ~ 120 л/мин |
Размер
Вот артикул, который вы можете заказать, и подробные сведения о размерах:
| Модель продукта | Скорость потока | Высота H (мм) | Точность фильтрации | Уровень очистки |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 л/мин | 51.6 | 0,003 мкм | C |
| Z01B-00638 | 40 л/мин | 82.9 | 0,003 мкм | C |
| Z01B-00687 | 80 л/мин | 126.2 | 0,003 мкм | C |
| Z01B-00688 | 120 л/мин | 167.9 | 0,003 мкм | C |
Типичные области применения
Предназначено для использования с модульными газораспределительными системами W-seal и C-seal, устанавливаемыми на поверхность диаметром 1,125 и 1,5 дюйма.
Отправьте нам ваше сообщение:
